國家知識產權局信息顯示，江蘇魯汶儀器股份有限公司取得一項名為“一種多離子源處理設備”的專利，授權公告號CN223842872U，申請日期為2024年12月。

專利摘要顯示，本申請公開了一種多離子源處理設備，涉及半導體加工設備技術領域，多離子源處理設備包括：工藝腔室；載臺，設置在工藝腔室的底部，載臺具有用于放置待處理工件的承載面；載臺能夠沿垂直于承載面中心的第一軸線轉動，還能夠沿平行于承載面的第二軸線轉動；第一離子源，可移動的安裝在工藝腔室的頂部，能夠出射第一離子束，第一離子束的照射區域覆蓋承載面的局部區域；第二離子源，第二離子源安裝在工藝腔室的頂部，能夠出射第二離子束，第二離子束的照射區域至少覆蓋承載面。本申請技術方案可以通過第一離子源出射的第一離子束和第二離子源出射的第二離子束對待處理工件進行表面加工，相對于采用單一離子源的離子源處理設備，提高了工藝靈活性。

天眼查資料顯示，江蘇魯汶儀器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以從事專用設備制造業為主的企業。企業注冊資本19584.6238萬人民幣。通過天眼查大數據分析，江蘇魯汶儀器股份有限公司共對外投資了3家企業，參與招投標項目258次，財產線索方面有商標信息32條，專利信息475條，此外企業還擁有行政許可14個。

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