國家知識產權局信息顯示,江蘇魯汶儀器股份有限公司、北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司申請一項名為“一種半導體刻蝕設備及其控制方法”的專利,公開號CN121331731A,申請日期為2024年7月。
專利摘要顯示,本申請提供一種半導體刻蝕設備及其控制方法,半導體刻蝕設備包括柵網和至少一個電磁線圈;柵網包括多個網孔,離子束可以通過柵網的網孔進行引出。電磁線圈圍繞至少一個網孔或多個網孔環繞電磁線圈,至少一個電磁線圈用于提供目標形狀和目標強度的磁場,以利用目標形狀和目標強度的磁場控制通過多個網孔的離子束的空間分布,也就是說,通過在網孔周圍預先設置至少一個電磁線圈,通過設置至少一個電磁線圈的位置以及電流大小確定目標形狀和目標強度的磁場,目標形狀和目標強度的磁場就能夠對通過網孔的離子束進行空間分布的調控,從而實現對離子束的空間分布進行多種場景的調控。
天眼查資料顯示,江蘇魯汶儀器股份有限公司,成立于2015年,位于徐州市,是一家以從事專用設備制造業為主的企業。企業注冊資本19584.6238萬人民幣。通過天眼查大數據分析,江蘇魯汶儀器股份有限公司共對外投資了3家企業,參與招投標項目257次,財產線索方面有商標信息32條,專利信息469條,此外企業還擁有行政許可14個。
北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司,成立于2017年,位于北京市,是一家以從事軟件和信息技術服務業為主的企業。企業注冊資本20000萬人民幣。通過天眼查大數據分析,北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司共對外投資了1家企業,參與招投標項目22次,財產線索方面有商標信息6條,專利信息513條,此外企業還擁有行政許可125個。
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