國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，江蘇魯汶儀器股份有限公司取得一項名為“一種多離子源處理設(shè)備”的專利，授權(quán)公告號CN223842872U，申請日期為2024年12月。

專利摘要顯示，本申請公開了一種多離子源處理設(shè)備，涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，多離子源處理設(shè)備包括：工藝腔室；載臺，設(shè)置在工藝腔室的底部，載臺具有用于放置待處理工件的承載面；載臺能夠沿垂直于承載面中心的第一軸線轉(zhuǎn)動，還能夠沿平行于承載面的第二軸線轉(zhuǎn)動；第一離子源，可移動的安裝在工藝腔室的頂部，能夠出射第一離子束，第一離子束的照射區(qū)域覆蓋承載面的局部區(qū)域；第二離子源，第二離子源安裝在工藝腔室的頂部，能夠出射第二離子束，第二離子束的照射區(qū)域至少覆蓋承載面。本申請技術(shù)方案可以通過第一離子源出射的第一離子束和第二離子源出射的第二離子束對待處理工件進(jìn)行表面加工，相對于采用單一離子源的離子源處理設(shè)備，提高了工藝靈活性。

天眼查資料顯示，江蘇魯汶儀器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以從事專用設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本19584.6238萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，江蘇魯汶儀器股份有限公司共對外投資了3家企業(yè)，參與招投標(biāo)項目258次，財產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息32條，專利信息475條，此外企業(yè)還擁有行政許可14個。

聲明：市場有風(fēng)險，投資需謹(jǐn)慎。本文為AI基于第三方數(shù)據(jù)生成，僅供參考，不構(gòu)成個人投資建議。